1、高精度觸針測頭系統(tǒng)

　　采用金剛石觸針（半徑通常0.5–5μm），配合高靈敏度電感式或光學杠桿傳感器，垂直分辨率可達0.0001μm（0.1nm），量程覆蓋0.005–1000μm。內(nèi)置過載保護機構(gòu)，遇碰撞自動回縮，有效防止昂貴觸針損壞，確保在復雜曲面（如齒輪齒面、軸承滾道）上安全掃描。

　　2、超穩(wěn)驅(qū)動與導軌單元

　　由高剛性直線電機或精密絲杠驅(qū)動，配合天然花崗巖基座與交叉滾柱導軌，實現(xiàn)無振動、低噪音的水平移動（速度0.02–5mm/s可調(diào)）。光柵尺閉環(huán)反饋位置，采樣間距達0.01μm，保障數(shù)據(jù)連續(xù)性與重復性（RSD≤2%）。

　　3、智能測控與分析平臺

　　搭載Windows或?qū)Ｓ们度胧较到y(tǒng)，支持ISO4287/13565、JISB0601、ASMEB46.1等國際標準；可同步計算300+參數(shù)（Ra、Rz、Rsk、Rku、Pt、Wt等），并生成2D/3D輪廓圖、頻譜分析及偏差色譜圖，滿足研發(fā)與質(zhì)檢雙重需求。

　　4、多功能定位與夾持附件

　　標配高精度Y軸調(diào)節(jié)臺、傾斜調(diào)整平臺、V型塊及磁性底座，支持內(nèi)孔、斜面、圓柱外壁等復雜幾何體的穩(wěn)定裝夾；部分機型集成自動調(diào)平與Z軸自動對焦功能，大幅提升測量效率。

　　5、環(huán)境補償與校準機制

　　內(nèi)置溫度傳感器，實時補償熱膨脹誤差；

　　一鍵式校準程序，配合標準樣塊（如Ra=1.6μm）快速驗證系統(tǒng)精度；

　　符合ISO17025計量要求，支持外部校準證書導入。